第(2/3)页 “哈哈!有戏!我感觉有戏!” 全场人的目光瞬间聚焦在李建昆身上。 现场众人频频点头,不少人出言附和。 沙沙沙…… “沃茨先生,能透露一下阿麦斯现在使用的是什么样的光源吗?”光学专家问。 沃茨:“!!!” 工作人员呈送上笔纸。 “所以您看,即使我知道第四代光刻机要使用193nmArF激光光源,我们机构仍然无法在短时间内研发出第四代光刻机。” “有必要藏着掖着吗?说你小肚鸡肠,真不冤枉你,不就是157nm深紫光源嘛。” 沃茨:“……” 陈春仙和几名研究员,你看我我看你,反正……他们是不知道。 不过如果建昆知道,这么说好像也没毛病。 问题是……他怎么又知道了? 这回也是懵的? 陈春仙心想,这次要是建昆给不出个合理解释,他非要从建昆身上切个片下来,验验他到底是不是外星人。 “这根本不算秘密,我们之所以不采用157nm的光源,正如你所讲,它是个误区。”李建昆说。 “这……这不可能。”沃茨舌头有点打卷。 “我问你,使用157nm光源,是不是在透镜上遭遇了前所未有的挑战?”李建昆瞥向他。 沃茨:“!!!” 台下,他的队友中,有一人下巴微张。 此人来自德国蔡司公司,阿麦斯的光刻机透镜,主要由这家公司提供。 所以他对这件事门儿清。 前不久,阿麦斯公司委托他们,制造可供157nm深紫光源后续研究使用的镜头,然而,他们造不出来。 如果连他们都造不出,地球上目前谁也造不出。 <div class="contentadv"> 等于可以这样讲:只要透镜问题无法解决,那么157nm光源的这个研究方向,将是一个死胡同。 “大家不要胡思乱想。” 李建昆眼神落在老陈身上,深深看他一眼:“使用157nm光源,的确可以把光刻机的最小工艺,推进到65nm,但是,这个研究方向,对于透镜的要求高到离谱。 “我说句可能有点丧气的话:那种光学透镜的工艺,我们地球上现在没有,短时间内也不会有。 “往这个方向钻,大概率要撞出一地脑花。” 前世,全世界研究光刻机的科学家,沿着157nm光源这个方向,钻了近二十年。 还没有钻研出成果。 李建昆是了解过光刻机发展史的,对于这个光刻机历史上最大的碰壁,自然清楚。 那位光学专家放下英雄牌钢笔,停止了计算,目露迷茫,请教道:“李先生,这样说来,您认为第四代光刻机该使用什么光源继续研究呢?” 现场众人都很爱这位同志,他问的问题,可以说都是技术秘密。 一般人还真没脸问,但他的话,像个技术宅,问得很坦然,一副求知若渴的模样。 问题是,这样的技术秘密……看看刚才阿麦斯的人就知道,这位李先生能说吗? “还是193nm光源。”李建昆回道。 嚯! 他还真说了,没有片刻犹豫。 不比不知道…… 只是这样的答案,现场许多人不太信服,尤其阿麦斯的人。 “信口雌黄!” 沃茨重重地哼一声道:“阿麦斯为什么放弃了193nm光源,转而研究157nm光源?因为193nm光源这条路根本走不通,它连65nm的最小工艺都达不到!” 这个问题其实之前已经讨论过。 光学专家用力点头:“是啊,上帝堵住了这条路,我刚才说过,我敢拿性命担保,193nmArF激光光源,绝对无法延伸到65nm的技术节点。” 陈春仙默默说,我也敢赌命。 第(2/3)页